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申请/专利权人：武汉大学
摘要：本发明提供了一种基于数字孪生的半球形结构陀螺仪FIB抛光修正装置。包括：真空腔，其内设置有移动台；转动机构，设置在移动台上，用于固定并控制被抛光物体进行转动；聚焦离子束发射单元，用于抛光被抛光物体；监测组件，包括振动性检测单元、粗糙度检测单元、表面损伤检测单元和温度检测单元，监测组件用于获取被抛光物体的振动性、粗糙度、表面损伤和温度；数字孪生平台，用于获取监测组件检测到的振动性、粗糙度、表面损伤和温度，并根据振动性、粗糙度、表面损伤和温度对抛光过程进行分析模拟，以生成调控指令，调控指令用于调控聚焦离子束发射单元的聚焦离子束的能量、聚焦离子束的束流密度和转动机构的转速。
主权项：1.一种基于数字孪生的半球形结构陀螺仪FIB抛光修正装置，其特征在于，包括：真空腔，所述真空腔内设置有移动台；转动机构，设置在所述移动台上，用于固定并控制设置在所述转动机构上的被抛光物体进行转动；聚焦离子束发射单元，用于朝所述被抛光物体发射聚焦离子束，以抛光所述被抛光物体；监测组件，包括振动性检测单元、粗糙度检测单元、表面损伤检测单元和温度检测单元，所述振动性检测单元用于检测所述被抛光物体的振动性，所述粗糙度检测单元用于检测被抛光物体的粗糙度，所述表面损伤检测单元用于检测被抛光物体的表面损伤，所述温度检测单元用于检测所述被抛光物体的温度；数字孪生平台，用于获取监测组件检测到的振动性、粗糙度、表面损伤和温度，并根据所述振动性、所述粗糙度、所述表面损伤和所述温度对抛光过程进行分析模拟，以生成调控指令，所述调控指令用于调控聚焦离子束发射单元的聚焦离子束的能量、聚焦离子束的束流密度和转动机构的转速。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 武汉大学 基于数字孪生的半球形结构陀螺仪FIB抛光修正装置
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