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一种抛光工装 

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申请/专利权人:眉山博雅新材料股份有限公司

摘要:本说明书实施例提供一种抛光工装,用于支撑待抛光工件,抛光工装包括垫块、工装板和底板,垫块包括垫块凹面、垫块平面和第一孔,第一孔贯穿垫块,工装板包括第一板面、第二板面和第二孔,第二孔贯穿所述工装板,底板包括底板平面、下轴平面和第三孔,第三孔贯穿底板;垫块凹面用于支撑待抛光工件,第一板面包括凹陷,垫块平面抵靠在凹陷内;第二板面安装在底板平面上;下轴平面安装在旋转工件轴上,第一孔、第二孔和第三孔导通,并与负压源导通。

主权项:1.一种抛光工装,用于支撑待抛光工件,其特征在于,所述抛光工装包括垫块、工装板和底板,所述垫块包括垫块凹面、垫块平面和第一孔,所述第一孔贯穿所述垫块,所述工装板包括第一板面、第二板面和第二孔,所述第二孔贯穿所述工装板,所述底板包括底板平面、下轴平面和第三孔,所述第三孔贯穿所述底板;所述垫块凹面用于支撑所述待抛光工件,所述第一板面包括凹陷,所述垫块平面抵靠在所述凹陷内;所述第二板面安装在所述底板平面上;所述下轴平面安装在旋转工件轴上,所述第一孔、所述第二孔和所述第三孔导通,并与负压源导通。

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