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申请/专利权人：中国矿业大学
摘要：一种提高FIB‑SEM三维重构过程中样品导电性的方法，包括以下步骤：在扫描电子显微镜模式下利用二次电子图像选择样品平坦的区域作为目标区域，利用聚焦离子束在目标区域刻蚀标记字样，并对目标区域进行Pt层沉积获得被Pt保护的目标区域；利用聚焦离子束对被Pt保护的目标区域进行粗切和细切后得到目标样品；利用纳米机械手与目标样品焊接在一起后对目标样品进行提取，再将目标样品焊接固定到金属导电网上；利用聚焦离子束切断纳米机械手与目标样品之间的焊接，获得导电性高的目标样品用于三维重构。该方法利用金属导电网的导电性将集聚的电子导出，减少荷电效应，有效解决图像漂移问题，从而获得清晰的内部截面图像，提高三维重构质量。
主权项：1.一种提高FIB-SEM三维重构过程中样品导电性的方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）在扫描电子显微镜模式下利用二次电子图像选择样品平坦的区域作为目标区域，利用聚焦离子束在目标区域刻蚀标记字样，并对目标区域进行Pt层沉积获得被Pt保护的目标区域；（2）利用聚焦离子束对被Pt保护的目标区域进行粗切和细切后得到目标样品；（3）利用纳米机械手与步骤（2）得到的目标样品焊接在一起后对目标样品进行提取，再通过纳米机械手将目标样品用Pt沉积焊接在金属导电网上；（4）利用聚焦离子束切断纳米机械手与目标样品之间的焊接，将Pt沉积在目标样品的切割底部表面，使切割底部表面、上表面以及铜网连接处的Pt均焊接在一起，获得三面导电且导电性高的目标样品用于三维重构，使导电性差的大块样品，形成三面导电的小块样品，并利用金属导电网的良好导电性将集聚的电子顺利导出，减少了由于电子集聚而产生的荷电效应。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国矿业大学 一种提高FIB-SEM三维重构过程中样品导电性的方法
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