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高压探针卡系统 

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申请/专利权人:塞莱敦体系股份有限公司

摘要:用于测试被测器件的测试组件包括探针卡组件和固定到探针卡组件的盖。探针卡组件包括具有多个开口的探针瓦片。该探针瓦片包括多条探针线,该探针线包括探针针部和探针尖端部。密封件设置在探针瓦片的表面上,并形成加压区域的外周。探针瓦片包括形成在加压区域内的绝缘层,该绝缘层被配置为将探针针部与被测器件分开。绝缘层包括孔,探针尖端部延伸穿过该孔以接触被测器件。该盖包括与探针瓦片的多个开口流体连通的流体入口和流体回流出口。

主权项:1.一种用于测试被测器件的测试组件,包括:探针卡组件,所述探针卡组件包括:探针瓦片,所述探针瓦片包括多个开口;多根探针线,所述多根探针线包括探针针部和探针尖端部;设置在所述探针瓦片的表面上的密封件,所述密封件形成加压区域的外周;以及形成在所述加压区域内的绝缘层,所述绝缘层被配置成将所述探针针部与所述被测器件分开,并且所述绝缘层包括孔,所述探针尖端部延伸穿过所述孔以接触所述被测器件;以及固定在所述探针卡组件上的盖,所述盖包括:流体入口和流体回流出口;所述流体入口和所述流体回流出口与所述探针瓦片的所述多个开口流体连通。

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权利要求:

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