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申请/专利权人：英铂科学仪器(上海)有限公司

摘要：本发明涉及半导体测试技术领域，公开了一种真空探针台，包括安装台和设置在安装台上的底板，所述安装台上设有有毒气体检测装置，所述底板上设有真空腔体、探针座和显微镜安装调节架，所述探针座围绕真空腔体周向设有多个，所述显微镜安装调节架上设有显微镜；本发明提供的一种真空探针台，解决了现有探针台的真空腔存在升温速度慢，对半导体器件的测试效率低以及无法对检测环境的有毒气体进行检测的问题。

主权项：1.一种真空探针台，其特征在于：包括安装台和设置在安装台上的底板，所述安装台上设有有毒气体检测装置，所述底板上设有真空腔体、探针座、显微镜安装调节架以及分别用于进行电学检测和光学检测的电学检测机构和光学检测机构，所述探针座围绕真空腔体周向设有多个，所述显微镜安装调节架上设有显微镜；所述真空腔体连接有与外部连通的抽真空管道，所述真空腔体包括同轴嵌套设置的外腔体和内腔体，所述外腔体和内腔体之间为保温腔，所述外腔体与内腔体一一对应设有外探测孔和内探测孔，相对应的外探测孔和内探测孔构成探测孔，所述内腔体内设有载物台，所述载物台的高度与探测孔的高度相适应，所述载物台上设有加热模块和温度传感器，所述载物台内设有冷源循环通道，所述冷源循环通道的两端分别通过管道连接至真空腔体的外部；所述探针座上设有安装座，所述安装座上设有移动杆，所述移动杆上设有探针夹具，所述探针夹具上设有探针，所述探针座上设有波纹管，所述波纹管的端部与外探测孔处设置的延伸管密封连接，所述移动杆沿着波纹管的长度方向延伸穿过探测孔后位于载物台的上方；所述探针座为三维移动座；所述三维移动座包括设置在底板上的基座，设置在基座上的X向移动机构、设置在X向移动机构上的Y向移动机构和设置在Y向移动机构上的Z向移动机构，所述X向移动机构包括设于基座上的底座、设于底座上的中座、与底座转动连接的第一丝杆和与第一丝杆螺纹连接的第一螺母，所述Y向移动机构包括设于中座上的上座、与中座转动连接的第二丝杆和与第二丝杆螺纹连接的第二螺母，所述Z向移动机构包括设于上座一侧的侧座、与上座转动连接的第三丝杆和与第三丝杆螺纹连接的第三螺母，所述底座与中座之间设有第一交叉滚子导轨，所述中座与上座之间设有第二交叉滚子导轨，所述上座与侧座之间设有第三交叉滚子导轨；所述第一丝杆的长度方向与第一交叉滚子导轨的长度方向平行，所述底座上设有第一移动槽，所述第一螺母位于第一移动槽内，所述第一螺母与中座固定连接；所述第二丝杆的长度方向与第二交叉滚子导轨的长度方向平行，所述中座上设有第二移动槽，所述第二螺母位于第二移动槽内，所述第二螺母与上座固定连接；所述第三丝杆的长度方向与第三交叉滚子导轨的长度方向平行，所述上座上设有第三移动槽，所述第三螺母位于第三移动槽内，所述第三螺母与侧座固定连接，所述安装座安装在侧座上；所述内腔体的内底壁上设有支撑柱，所述载物台安装在支撑柱的上端。

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