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申请/专利权人：鑫创科技股份有限公司
摘要：本发明公开一种微机电麦克风结构与其制造方法。微机电麦克风包括基板，具有第一开口。介电层设置在基板上，其中所述介电层具有与所述第一开口对准的第二开口。隔膜设置在所述介电层的所述第二开口内，其中所述隔膜的外围区域在所述第二开口的侧壁处嵌入所述介电层中。背板层设置在所述介电层上并覆盖所述第二开口。所述背板层包括布置成规则数组图案的多个声孔，其中所述规则数组图案包括图案单元，所述图案单元包括所述之一声孔作为中心孔，并且围绕所述中心孔的所述声孔的外围孔与中心孔的间距相同。
主权项：1.一种微机电麦克风结构，其特征在于，包括：基板，具有第一开口；介电层，设置在基板上，其中所述介电层具有与所述第一开口对准的第二开口；隔膜，设置在所述介电层的所述第二开口内，其中所述隔膜的外围区域在所述第二开口的侧壁处嵌入所述介电层中；以及背板层，设置在所述介电层上并覆盖所述第二开口，其中所述背板层包括布置成规则数组图案的多个声孔，其中所述规则数组图案包括图案单元，所述图案单元包括所述多个声孔之一作为中心孔，并且围绕所述中心孔的所述声孔的外围孔与中心孔的间距相同，其中所述背板层被配置为具有中心区域及外围区域，所述声孔分布在所述中心区域内，其中在所述背板层的所述外围区域内还包括外环声孔及接口声孔，其中具有均匀的第一尺寸的所述外环声孔以环的形式分布在所述背板层，具有不均匀的第二尺寸的所述接口声孔分布在所述环及所述中心区域之间。
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权利要求：
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