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申请/专利权人：深圳市道格特科技有限公司

摘要：本申请公开了一种探针卡测试设备的测试机构以及探针卡测试设备，探针卡测试设备的测试机构包括壳体、三同轴线和探针组件。壳体包括盖体和座体，盖体盖设于座体的端壁，盖体和座体之间限定出安装空间；三同轴线伸入壳体，三同轴线包括信号线和第一传导层；探针组件绝缘设置于座体，探针组件包括多个第一探针和第二探针，多个第一探针沿壳体的径向方向间隔开设置且均与信号线电连接，第二探针与第一传导层电连接，第一探针适于与探针卡的测试引脚止抵且电连接，第二探针适于与探针卡的接地引脚止抵且电连接。与现有技术相比，测试机构可以尽量避免探针卡的测试结果被外部环境的电磁辐射影响，从而可以提高探针卡的测试结果的准确性。

主权项：1.一种探针卡测试设备的测试机构，其特征在于，包括：壳体10，所述壳体10包括盖体101和座体102，所述座体102适于安装于探针卡测试设备，所述盖体101盖设于所述座体102的远离所述探针卡测试设备的端壁，且所述盖体101和所述座体102之间限定出安装空间104；三同轴线20，所述三同轴线20伸入所述壳体10内且与所述壳体10固定连接，所述三同轴线20包括信号线201、第一绝缘层和第一传导层203，所述第一绝缘层包覆于所述信号线201的外侧，所述第一传导层203包覆于所述第一绝缘层的外侧；探针组件30，所述探针组件30绝缘设置于所述座体102，所述探针组件30包括多个第一探针301和第二探针302，多个所述第一探针301沿所述壳体10的径向方向间隔开设置且均与所述信号线201电连接，所述第二探针302与多个所述第一探针301均间隔开设置，所述第二探针302与所述第一传导层203电连接，所述第一探针301适于与探针卡的测试引脚止抵且电连接，所述第二探针302适于与所述探针卡的接地引脚止抵且电连接；所述测试机构100还包括：第一安装件40，所述第一安装件40固定安装于所述座体102，多个所述第一探针301均设于所述第一安装件40，所述第一安装件40设有多个与所述安装空间104连通的第一安装孔401，多个所述第一安装孔401沿所述壳体10的径向方向间隔开设置，且多个所述第一安装孔401和多个所述第一探针301一一对应设置，每个所述第一安装孔401设有所述第一探针301，且多个所述第一安装孔401均与所述信号线201相对，所述第一安装件40设有金属层；所述第一探针301包括第一针套3011、第一针体3012和第一弹性件，所述第一针套3011设有第一避让槽，所述第一针体3012可活动地设置于所述第一避让槽，且所述第一针体3012适于伸入或移出所述第一避让槽，所述第一弹性件可弹性变形地设置于所述第一避让槽的底壁和所述第一针体3012之间，所述第一针套3011与所述信号线201电连接，所述第一针体3012适于与所述探针卡的测试引脚止抵且电连接；所述第二探针302包括第二针套3021、第二针体3022和第二弹性件，所述第二针套3021设有第二避让槽，所述第二针体3022可活动地设置于所述第二避让槽，且所述第二针体3022适于伸入或移出所述第二避让槽，所述第二弹性件可弹性变形地设置于所述第二避让槽的底壁和所述第二针体3022之间，所述第二针套3021与所述第一传导层203电连接，所述第二针体3022适于与所述探针卡的接地引脚止抵且电连接；所述壳体10设有夹紧部103，所述夹紧部103包括相对设置的第一夹持部1031和第二夹持部1032，所述第一夹持部1031和所述第二夹持部1032之间限定出夹紧间隙1033，所述三同轴线20穿过所述夹紧间隙1033，第一紧固件1034依次穿过所述第一夹持部1031和所述第二夹持部1032，以调节所述夹紧间隙1033的大小。

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