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申请/专利权人：拓荆科技(上海)有限公司
摘要：本发明公开了一种具有冷却结构的分气机构，其包括:分气组件，分气组件内设有分气通道以及环绕于分气通道的第一冷却通道；至少一个出气组件，出气组件内设有出气通道以及环绕于出气通道的第二冷却通道；其中，出气组件连接于分气组件的分气端，出气通道均连通于分气通道，第二冷却通道均连通于第一冷却通道。其通过在分气组件和出气组件内设置单向流通的冷却通道，通入冷却剂对分流的特殊气体进行冷却处理，能够对各个分气通道和出气通道进行全方位的冷却处理，同时能够提高冷却效率。本发明还公开了一种薄膜沉积设备，其采用具有冷却结构的分气机构，其能够提高沉积质量。
主权项：1.一种具有冷却结构的分气机构，其特征在于，包括:分气组件，所述分气组件内设有分气通道以及环绕于所述分气通道的第一冷却通道；至少一个出气组件，所述出气组件连接于所述分气组件的分气端，所述出气组件内设有出气通道以及环绕于所述出气通道的第二冷却通道；其中，所述出气通道均连通于所述分气通道，所述第二冷却通道均连通于所述第一冷却通道。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 拓荆科技(上海)有限公司 一种具有冷却结构的分气机构及其薄膜沉积设备
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