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申请/专利权人：华东光电集成器件研究所;北京理工大学
摘要：本发明公开了一种用于测试应力对芯片影响的实验装置及其使用方法，装置包括：上工装，所述上工装设有用于对芯片的设定点位进行施力的第一力臂；下工装，所述下工装设有用于对芯片的设定点位进行施力的第二力臂；上工装与下工装相对设置，且第一力臂朝向下工装，第二力臂朝向上工装；驱动机构，所述驱动机构用于驱动芯片在第一力臂和第二力臂之间移动，从而通过第一力臂和第二力臂一次性地对芯片上的设定点位施加连续性变化的拉应力和压应力。本发明在测试过程中能在芯片的设定点位一次性地施加拉应力或压应力，且施加的应力大小可以线性且连续变化，提高了测试效率和精度。
主权项：1.一种用于测试应力对芯片影响的实验装置，其特征在于，包括：上工装（1），所述上工装（1）设有用于对芯片（4）的设定点位进行施力的第一力臂（11）；下工装（2），所述下工装（2）设有用于对芯片（4）的设定点位进行施力的第二力臂（21）；上工装（1）与下工装（2）相对设置，且第一力臂（11）朝向下工装（2），第二力臂（21）朝向上工装（1）；驱动机构，所述驱动机构用于驱动芯片在第一力臂（11）和第二力臂（21）之间移动，从而通过第一力臂（11）和第二力臂（21）一次性地对芯片（4）上的设定点位施加连续性变化的拉应力和压应力。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 华东光电集成器件研究所 北京理工大学 一种用于测试应力对芯片影响的实验装置及其使用方法
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