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申请/专利权人：东北师范大学
摘要：本发明公开了一种用于光刻机的集成紫外全介质超透镜组，它包括：第一亚波长阵列结构、透明基板、第二亚波长阵列结构；所述的第一亚波长阵列结构与第二亚波长阵列结构设置在透明基板的相对两侧；两个亚波长阵列结构由多个单元结构阵列形成；单元结构长和宽均小于工作波长；亚波长阵列结构会聚光线。一个超透镜组，还包括两个超透镜，分别为第一超透镜与第二超透镜；第一超透镜和第二超透镜均为亚波长阵列结构；第一超透镜与第二超透镜集成在同一透明基板两侧；第一超透镜与第二超透镜的直径比设计为4:1；实现了具有缩束功能的集成紫外全介质超透镜组，超透镜组减少了紫外系统的镜片数量，透过率高、能量损失小，加工工艺较简单。
主权项：1.一种集成紫外全介质超透镜组，它包括两个超透镜，分别为第一超透镜与第二超透镜；第一超透镜为第一亚波长阵列结构（1），第二超透镜为第二亚波长阵列结构（2），第一亚波长阵列结构（1）与第二亚波长阵列结构（2）相同，均是由多个单元结构（4阵列形成；单元结构4长和宽均小于工作波长；亚波长阵列结构会聚光线；所述的第一超透镜与第二超透镜的直径比设计为4:1；平行光束入射后，光束穿过第一亚波长阵列结构（1）后进行会聚，在其设计焦点位置存在聚焦光斑，光束通过第一亚波长阵列结构（1）的聚焦位置后，继续传播至第二亚波长阵列结构（2），通过第二个具有会聚能力的第二亚波长阵列结构（2）后，光束成平行光出射；光束在两个亚波长阵列结构之间的传播发生在透明基板（3）中。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东北师范大学 一种用于光刻机的集成紫外全介质超透镜组
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