买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

申请/专利权人：杭州中欣晶圆半导体股份有限公司

摘要：本发明公开了一种晶圆边缘形貌检查系统及其检测方法，包括工作台和位于工作台上方的检查器，所述工作台的顶部固定有安装座，所述安装座的一侧固定有折架，所述折架与安装座之间设置有翻转单元，本发明涉及晶圆边缘形貌检查技术领域。该晶圆边缘形貌检查系统及其检测方法，通过在折架与安装座之间设置翻转单元，利用固定座的上下移动过程，可以带动转轴推动三角块调节挡板的位置，并在挡板的作用下带动转轴进行翻转，配合稳定机构保证转轴翻转后的稳定性，在对晶圆边缘形貌检查时，可以实现晶圆的全方位检查，无需人工手动介入翻转，一来避免了人工手动介入会影响晶圆形貌检查结果，二来可以实现晶圆的全方位检查，保证了结果的精确性。

主权项：1.一种晶圆边缘形貌检查系统，包括工作台1和位于工作台1上方的检查器2，其特征在于：所述工作台1的顶部固定有安装座3，所述安装座3的一侧固定有折架4，所述折架4与安装座3之间设置有翻转单元5，所述翻转单元5的一侧设置有控制机构6，且工作台1的顶部设置有检查机构7；所述翻转单元5包括设置在折架4一侧的固定座51，所述固定座51的一侧固定有T型块52，所述折架4的一侧开设有T型槽53，且T型块52的外表面与T型槽53的内表面滑动，所述固定座51的表面转动有转轴54，且转轴54的外表面固定有凸盘55，且凸盘55表面的两侧均固定有凸柱56，所述安装座3的顶部开设有限位槽57，且限位槽57的内表面滑动有滑板58，所述滑板58的顶部固定有三角块510，所述滑板58顶部的两侧均固定有竖板511，两个所述竖板511的相对侧均一体固定有挡板512，且转轴54的外表面与三角块510的斜面接触，所述固定座51的一侧固定有延伸部513，所述延伸部513上贯穿螺纹连接有螺纹杆514，所述螺纹杆514的顶端与折架4内壁的顶部转动并延伸至折架4的外部，所述折架4的顶部固定有第一电机515，所述第一电机515的输出端通过联轴器与螺纹杆514的顶端固定，所述转轴54的一端贯穿固定座51并延伸至固定座51的外部，且转轴54的一端设置有稳定机构59；所述稳定机构59包括固定在转轴54一端的衔接套59-1，所述衔接套59-1的一侧固定有转动套59-2，所述固定座51表面的两侧均固定有挡柱59-3，且挡柱59-3的表面与转动套59-2的表面接触，所述固定座51的底部固定有衔接座59-4，所述衔接座59-4的表面固定有安装套59-5，所述安装套59-5的表面固定有弹簧59-6，且弹簧59-6的一端与转动套59-2的一侧固定；所述控制机构6包括固定在转轴54一端的横座61，所述横座61的一侧设置有两个放置板62，两个所述放置板62的一侧均固定有凸条63，所述横座61的一侧开设通槽64，且凸条63的外表面与通槽64的内表面滑动，两个所述放置板62的相对侧均开设有圆形槽65，所述圆形槽65上贯穿转动有转盘66，所述放置板62的一侧固定有机架67，所述机架67的表面固定有第二电机68，所述第二电机68的输出轴端部与转盘66的轴心处固定，所述转盘66上固定有气泵69，所述气泵69的进气口连通有进气管610，且气泵69的出气口连通有出气管611，所述进气管610的一端贯穿转盘66并与转盘66的表面齐平，所述检查机构7包括转动设置在工作台1顶部的转柱71，所述转柱71的外表面上方固定有连接板72，且连接板72的一侧与检查器2的一侧固定，所述工作台1的顶部固定有架板73，所述架板73的表面固定有第三电机74，所述第三电机74的输出轴表面与转柱71的表面均固定有齿轮75，两个所述齿轮75之间啮合；该晶圆边缘形貌检查系统的检测方法，具体包括以下步骤：S1、首先将晶圆工件放置在放置板62上的圆形槽65内，此时启动气泵69，经过气泵69使得进气管610处产生负压，此时晶圆工件与转盘66的接触面上产生负压，然后经过进气管610对晶圆工件进行固定，此时启动第二电机68，利用第二电机68带动转盘66转动，转盘66转动使得晶圆工件转动，然后启动第三电机74，经过第三电机74带动两个啮合的齿轮75转动，两个啮合的齿轮75转动进一步带动转柱71转动，转柱71转动进而带动连接板72转动，连接板72转动使得检查器2转动至晶圆工件处，利用检查器2对晶圆工件边缘形貌检查即可；S2、需要翻转时，将位于上侧的放置板62移动至与下侧的放置板62位置对齐，使得凸条63在通槽64内滑动，然后启动第一电机515，经过第一电机515带动螺纹杆514转动，螺纹杆514转动使得延伸部513向上运动，延伸部513向上运动然后带动固定座51向上运动，固定座51向上运动使得T型块52在T型槽53内向上移动，此时凸柱56跟随向上运动时触碰挡板512，在触碰挡板512的作用下带动凸柱56翻转，此时转轴54转动180°，此时放置板62在转轴54的作用下翻转180°即可，同时在转轴54的作用下带动衔接套59-1和转动套59-2转动，在弹簧59-6的作用下维持稳定；S3、然后反向启动第一电机515，在第一电机515的作用下带动转轴54和放置板62向下运动，然后利用转轴54挤压三角块510的斜面，此时在三角块510的作用下推动滑板58在限位槽57内向一侧滑动，此时转轴54恢复至初始位置，此时再启动第三电机74，利用检查器2对晶圆工件边缘形貌检查即可。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 杭州中欣晶圆半导体股份有限公司 一种晶圆边缘形貌检查系统及其检测方法