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申请/专利权人：浙江瑞特良微电子材料有限公司
摘要：本发明涉及G03F7，更具体地，本发明涉及一种环保退膜剂及其在退膜工艺中的应用。环保退膜剂的原料包括碱性剥落剂、酸性辅助剂、渗透剂、促进剂、缓蚀剂、络合剂、表面活性剂和有机溶剂。本发明提供的环保退膜剂，不含氢氟酸等含氟物质，不含氢氧化钾、氢氧化钠等强碱化合物，也不产生磷酸、硫酸等废液，绿色环保，废水处理简单，对人体危害小，在使用环保退膜剂的退膜工艺中，工件的尺寸变化低，退膜造成的损失少，尤其是对于膜厚10‑15μm的工件，退膜效果尤为显著，滞空时间长，可达3min，为工件重新镀膜的后续工艺提供了时间；退膜后，铝基材工件表面无流痕，符合了市场发展需求。
主权项：1.一种环保退膜剂，其特征在于，所述环保退膜剂的原料包括碱性剥落剂、酸性辅助剂、渗透剂、促进剂、缓蚀剂、络合剂、表面活性剂和有机溶剂；碱性剥落剂为氢氧化物、乙醇胺和碱性磷酸盐；在碱性剥落剂中，氢氧化物、乙醇胺和碱性磷酸盐的重量比为2.8-3.4：6.5-8.2：11.4-13.7；渗透剂选自异辛醇硫酸铵盐HA-08、异辛醇醚磷酸酯OEP-70、脂肪醇聚氧乙烯醚JEC-E的一种或多种；所述促进剂选自偏钨酸铵、偏钨酸钠、磷钨酸、硝酸、硅钨酸、磷钨酸钾、偏钨酸钾、硝酸银的一种或多种；所述缓蚀剂包括无机盐和吸附膜型缓蚀剂；缓蚀剂中，无机盐和吸附膜型缓蚀剂的重量比为1-1.8：1.2；所述络合剂选自氨基三亚甲基膦酸、甘氨酸、丙二酸、三聚磷酸钠、二乙三胺五乙酸五钠、羟乙基乙二胺三乙酸的一种或多种。
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百度查询： 浙江瑞特良微电子材料有限公司 一种环保退膜剂及其在退膜工艺中的应用
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