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申请/专利权人：大连齐维科技发展有限公司
摘要：本发明涉及超高真空紫外线发射设备技术领域，具体为一种紫外线发射器。该发射器的带放电毛细管的阳极组件中放电毛细管的一端插接并固定于电极内，电极固定设于阳极法兰上，放电毛细管的另一端穿过阳极法兰，阳极法兰上设有放电气体的进气孔，进气孔连通进气组件；带引导毛细管的阴极组件中引导毛细管的一端穿过阴极件，阴极件固定安装于阴极法兰内，引导毛细管上开设有抽气口，抽气口连通所述差分抽组件；本发明提供的紫外线发射器，采用放电毛细管与氦气配合，通过电极进行放电，可有效产生紫外线，产生的紫外线光通过引导毛细管引出，引导毛细管起到对紫外线光束聚焦和导向的作用。
主权项：1.一种紫外线发射器，其特征在于：包括带放电毛细管的阳极组件、带引导毛细管的阴极组件及差分抽组件；所述带放电毛细管的阳极组件中放电毛细管的一端插接并通过缩紧锥形段与锁紧螺母固定于电极内，所述电极固定设于阳极法兰上，所述放电毛细管的另一端穿过阳极法兰，所述阳极法兰上设有放电气体的进气孔，所述进气孔连通进气组件；所述进气组件包括进气管，所述进气管的一端固定连接阳极法兰，进气管的另一端固定连接进气法兰；所述带引导毛细管的阴极组件中引导毛细管的一端穿过阴极件，所述阴极件固定安装于阴极法兰内，所述引导毛细管的另一端为紫外线出口，所述引导毛细管上开设有1~4个抽气口，每一个抽气口对应一个差分抽组件；所述阳极法兰与阴极法兰密封连接，在阳极法兰与阴极法兰之间形成真空腔，放电毛细管的一端与引导毛细管的一端分别置于真空腔内，所述真空腔与阳极法兰上的进气孔连通；还包括调整组件，所述调整组件包括带波纹管的外管，所述带波纹管的外管两端分别固定连接阴极法兰与连接法兰，所述阳极法兰、阴极法兰与连接法兰上开设有至少三组同轴的螺纹孔，所述螺纹孔内螺纹连接调节螺杆，所述调节螺杆的一端固定设有调节螺母。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 大连齐维科技发展有限公司 一种紫外线发射器
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