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申请/专利权人：北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司
摘要：本申请提供一种尖峰退火设备，包括：反应腔室，所述反应腔室用于容纳晶圆和用于加热所述晶圆的至少一组光源，所述光源的发光面正对所述晶圆；吸热结构，所述吸热结构的第一面与所述任意一组光源的背光面相对设置，且所述吸热结构的第一面的表面积大于等于所述任意一组光源的背光面的截面积；移动组件，所述移动组件与所述吸热结构的第二面连接，控制所述吸热结构靠近或远离所述光源。所述移动组件带动吸热结构根据不同工艺情况进行移动，使升温过程与降温过程的环境条件产生差异，互相不受制约，能够在满足极快降温速度的工艺需求下，达到生产效率的提升。
主权项：1.一种尖峰退火设备，其特征在于，包括：反应腔室，所述反应腔室用于容纳晶圆和用于加热所述晶圆的至少一组光源，所述光源的发光面正对所述晶圆；吸热结构，所述吸热结构的第一面与所述任意一组光源的背光面相对设置，且所述吸热结构的第一面的表面积大于等于所述任意一组光源的背光面的截面积；移动组件，所述移动组件与所述吸热结构的第二面连接，控制所述吸热结构靠近或远离所述光源。
全文数据：
权利要求：
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