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申请/专利权人：河南省科学院激光制造研究所;哈尔滨工业大学
摘要：本发明公开了一种基于超快激光的MOFs单晶微尺度图案化加工方法及应用，所述方法包括A：通过溶剂热方法合成MOFs单晶材料，并制备MOFs单晶样品；B：利用超快激光加工装置在设定加工间隔下对步骤A中的MOFs单晶样品进行超快激光图案化诱导加工，得到图案化MOFs单晶复合材料。通过本发明的方法实现了激光对MOFs单晶的无伤精准图案化诱导加工，制备出的图案化MOFs单晶复合材料兼具MOFs衍生材料的功能和MOFs晶体结构的本征优势，能够成为性能优异且稳定的微电子器件，实现MOFs材料真正意义上的微型器件化应用。
主权项：1.一种基于超快激光的MOFs单晶微尺度图案化加工方法，其特征在于：包括以下步骤：A：制备待加工面的长度和宽度均大于等于100μm的MOFs单晶样品；B：利用超快激光加工装置在设定激光加工参数下对步骤A中的MOFs单晶样品进行超快激光诱导加工，得到图案化MOFs单晶复合材料。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 河南省科学院激光制造研究所 哈尔滨工业大学 一种基于超快激光的MOFs单晶微尺度图案化加工方法及应用
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