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申请/专利权人：中讯半导体(江苏)有限公司
摘要：本发明公开了一种磷化铟单晶生成装置，包括加热箱和反应箱，所述加热箱一侧固定连接有连接管，所述连接管另一侧固定连接在反应箱上，且加热箱和反应箱均与连接管相连通，所述连接管外壁包裹有保温棉，所述连接管内壁底部固定连接有固定块，所述固定块靠近顶部位置开设有圆孔，所述圆孔中滑动连接有滑杆。本发明，加热箱内部的气压增大，当达到一定程度的时候，磷蒸汽将会加压密封板向反应箱移动，且弹簧受到压缩，同时密封板移动的距离越大，由于半圆锥槽的设置，通气的孔就越大，有效解决了背景技术中提出的问题，进而实现了对磷蒸汽的流量进行限制，避免过量的磷蒸汽在反应箱内未与铟反应，造成反应效率降低技术效果。
主权项：1.一种磷化铟单晶生成装置，包括加热箱（1）和反应箱（2），其特征在于，所述加热箱（1）一侧固定连接有连接管（10），所述连接管（10）另一侧固定连接在反应箱（2）上，且加热箱（1）和反应箱（2）均与连接管（10）相连通，所述连接管（10）外壁包裹有保温棉（3），所述连接管（10）内壁底部固定连接有固定块（15），所述固定块（15）靠近顶部位置开设有圆孔，所述圆孔中滑动连接有滑杆（14），所述滑杆（14）靠近反应箱（2）一侧固定连接有密封板（13），所述滑杆（14）另一侧固定连接有凸块（16），所述滑杆（14）位于固定块（15）和凸块（16）之间的圆周表面滑动套设有方块（17），所述方块（17）上开设有与滑杆（14）相适配的孔洞，所述滑杆（14）位于方块（17）和凸块（16）之间的圆周表面套设有弹簧（18），所述方块（17）两侧均固定连接有圆杆（19）。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中讯半导体(江苏)有限公司 一种磷化铟单晶生成装置
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