龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：湖南德智新材料有限公司
摘要：本发明涉及半导体材料的技术领域，提供了复合材料及其制备方法和应用，其制备方法包括（1）向沉积室中一次性注入Ta源气体、C源气体和还原气体，在自适应控压装置的调控下，在基底上CVD沉积一层TaC子层；（2）待沉积完成后，至少重复一次步骤（1），在步骤（1）中的TaC子层上沉积至少另一层TaC子层，得到所述复合材料。本发明通过脉冲式沉积的方法沉积的TaC涂层能够缓解TaC和碳基基底的热膨胀系数不匹配的问题，提高产品的抗热震性能，且能够提高产品的韧性和涂层间的结合强度。
主权项：1.一种复合材料的制备方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：（1）向沉积室中一次性注入Ta源气体、C源气体和还原气体，在自适应控压装置的调控下，在基底上CVD沉积一层TaC子层；（2）待沉积完成后，至少重复一次步骤（1），在步骤（1）中的TaC子层上沉积至少另一层TaC子层，得到所述复合材料；每次CVD沉积的条件相同或不同，每次CVD沉积的条件包括：沉积温度为1500℃-1900℃，压力为2kPa-12kPa，每次通入气体的量使得单层TaC子层的厚度为0.1μm-4μm；每次CVD沉积注入的气体中，Ta源气体、C源气体和还原气体的摩尔量之比为1:0.5-1.5:0.1-20。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 湖南德智新材料有限公司 复合材料及其制备方法和应用
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号