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申请/专利权人：北京华卓精科科技股份有限公司
摘要：本发明涉及光栅测量领域，具体而言，涉及一种工件台测试方法、平面光栅测试方法及系统测试方法。工件台测试方法，利用框架标定工装上的第一平面光栅替代整机框架上的平面光栅模块，为读数头的信号提供参考基准，对工件台进行测试，判断工件台是否合格。平面光栅测试方法，利用测试合格的离线测试台代替工件台，对整机框架上的平面光栅模块进行测试，判断工件台是否合格。系统测试方法包括上述工件台测试方法和上述平面光栅测试方法。本发明提供的工件台测试方法、平面光栅测试方法及系统测试方法，在测试时，不易损害平面光栅模块中的大尺寸异形平面光栅，从而，降低了整机的制造成本。
主权项：1.一种工件台测试方法，其特征在于，包括：将工件台（100）与框架标定工装（200）配合，以使框架标定工装（200）上的第一平面光栅（220）为工件台（100）上的读数头（120）的信号提供参考基准；启动工件台（100）；获取各个读数头（120）运动到各个工位时的第一测试参数；根据各个所述第一测试参数，判断工件台（100）是否合格；其中，所述将工件台（100）与框架标定工装（200）配合的步骤包括：移动框架标定工装（200），使框架标定工装（200）与工件台（100）的水平相对位置达到测试标准；然后，调节框架标定工装（200），使框架标定工装（200）上的第一平面光栅（220）水平，并使框架标定工装（200）上的第一平面光栅（220）与工件台（100）的间距为预定间距。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京华卓精科科技股份有限公司 工件台测试方法、平面光栅测试方法及系统测试方法
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