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申请/专利权人:合肥欣奕华智能机器股份有限公司
摘要:本发明公开了一种用于蒸镀设备真空腔室破真空扩散器,包括扩散器主体、遮挡罩;所述扩散器主体远离遮挡罩的一端设有进气孔,所述扩散器主体的侧部设有扩散孔,所述遮挡罩设置于所述扩散器主体上且与所述扩散器主体活动连接,所述遮挡罩通过相对扩散器主体移动用来遮挡或打开扩散孔,本申请通气结构采用内外双层扩散筒的结构设计,并且扩散筒上的扩散孔的孔径从下到上逐渐减小,使得气流在离玻璃基片较远的地方扩散速度快,较近的地方气流更少,可以保证扩散器上部对于玻璃基片的冲击更小。
主权项:1.一种用于蒸镀设备真空腔室破真空扩散器,其特征在于,包括扩散器主体1、遮挡罩2;所述扩散器主体1远离遮挡罩2的一端设有进气孔105,所述扩散器主体1的侧部设有扩散孔,所述遮挡罩2设置于所述扩散器主体1上且与所述扩散器主体1活动连接,所述遮挡罩2通过相对扩散器主体1移动用来遮挡或打开扩散孔。
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