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申请/专利权人：苏州佑伦真空设备科技有限公司

摘要：为了解决如何提高真空镀膜的问题，本发明提出一种新型蒸镀机，包括蒸镀机本体、加热灯结构、镀锅、控制机构、水冷隔热机构、坩埚、离子源和驱动机构，将镀锅安装至蒸镀机本体内部，抽真空泵组进行抽真空处理，控制机构启动驱动机构，加热灯结构除去蒸镀机本体内部水分、离子源对基板表面进行离子轰击使表面粗糙，清洁并辅助镀膜，坩埚启动对基板进行镀膜，水冷隔热机构降低真空主腔体内部热源对低温泵的热辐射，既可以保障冷却效果的同时增加了蒸镀机内部气流通量，从而提高了真空泵抽真空的速度，该镀膜机结构简答，操作方便且镀膜效果好。

主权项：1.一种新型蒸镀机，包括蒸镀机本体（1）、加热灯结构（4）、镀锅（7）、控制机构（17）、水冷隔热机构（8）、坩埚（11）、离子源（12）和驱动机构，其特征在于：所述蒸镀机本体（1）内部分为第一中空腔体（2）和第二中空腔（3），加热灯结构（4）、镀锅（7）、水冷隔热机构（8）、坩埚（11）、离子源（12）和驱动机构均设置于蒸镀机本体（1）的第一中空腔体（2）内，控制机构（17）位于蒸镀机本体（1）的第二中空腔（3）内，第一中空腔体（2）和第二中空腔（3）相邻，驱动机构包括：马达（15）、抽真空泵组（16）、旋转气缸（29），所述驱动机构与控制机构（17）电性连接，所述第一中空腔体（2）的顶部设有镀锅（7），所述镀锅（7）的顶端连接马达（15），所述镀锅（7）下部设有加热灯结构（4）、坩埚（11）和离子源（12），所述加热灯结构（4）、坩埚（11）和离子源（12）固定在第一中空腔体（2）的底板上，所述第一中空腔体（2）的一侧面设有主阀腔（18），主阀腔（18）与第一中空腔体（2）连通，所述主阀腔（18）上设有水冷隔热机构（8），主阀腔（18）的下部设有与主阀腔（18）通过真空管连通的抽真空泵组（16），抽真空泵组（16）位于蒸镀机本体（1）外部的支架上，所述第一中空腔体（2）的与主阀腔（18）相对面设有腔门（19），腔门（19）与第一中空腔体（2）铰接，腔门（19）前端设有视窗结构（20）,第一中空腔体（2）底板的上部设有防着（21），防着（21）与底板设有间隙，防着（21）上设有坩埚（11）孔和遮板（23）装置孔，所述坩埚（11）位于间隙处且坩埚（11）的开口于坩埚（11）孔套接，坩埚（11）的开口上方设有遮板（23），所述遮板（23）与坩埚（11）的开口设有间隙，所述遮板（23）旁设有遮条（24），遮条（24）固定安装在防着（21）上，通过旋转气缸（29）带动遮板（23）旋转，遮板（23）的功能为蒸发在淀积开始之前将遮板（23）移至坩埚（11）上方，当加热细丝进行稳定的电子发射和蒸发时移除遮板（23）,视窗结构（20）从腔体门外部向内部的方向依次包括：外层玻璃、回转玻璃和安装板，安装板固定在腔体门的内侧壁上，所述外层玻璃上设有一贯穿外层玻璃并可转动的回转轴（22），回转轴（22）与回转玻璃连接固定，回转玻璃能够跟随回转轴（22）同步旋转，安装板上设置有观察孔,加热灯结构（4）包括：固定杆（5）和加热灯（6），加热灯（6）通过调节件连接在固定杆（5）的一端，固定杆（5）的另一端连接加热灯（6）变压器，加热灯（6）变压器与第一中空腔体（2）的底板固定,水冷隔热机构（8）包括多片散热（9）和水冷管（10），多个散热（9）固定安装在主阀腔（18）的底板上，所述多个散热（9）呈百叶型排列，相邻的两片散热（9）相互间隔平行，所述散热（9）设有多个通孔，所述通孔呈矩形列阵排列，所述散热（9）的两端通过水冷管（10）串接，所述水冷管（10）的一端为进水口，水冷管（10）的另一端为出水口，所述进水口上固定连接有第一螺栓套筒，所述出水口上固定连接有第二螺栓套筒，第一螺栓套筒和第二螺栓套筒分别与主阀腔（18）的底板可拆卸连接。

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