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申请/专利权人：苏州佑伦真空设备科技有限公司

摘要：本申请提供一种真空蒸镀机的坩埚系统，所述坩埚系统包括电子枪结构和坩埚结构，电子枪结构设置在坩埚结构的前方，电子枪结构发出电子束轰击加热坩埚结构的坩埚内的膜料；所述电子枪结构包括支座、灯丝、高压头、一体式线圈和磁极，所述支座具有一个从上向下的凹陷部，灯丝和高压头设置在凹陷部内，高压头设置在灯丝的下方，高压头对灯丝进行高压放电，一体式线圈设置在灯丝的前方，磁极设置在支座的两侧和后方，一体式线圈由一个水平横向设置的X线圈和两个水平纵向设置的Y线圈组成，X线圈设置在前方，两个Y线圈分别与X线圈的两端连接并且位于X线圈的后方，所述一体式线圈和磁极用于使得打入坩埚内的光斑为点形或圆形。

主权项：1.一种真空蒸镀机的坩埚系统，所述坩埚系统包括电子枪结构（1）和坩埚结构（2），电子枪结构（1）设置在坩埚结构（2）的前方，电子枪结构（1）发出电子束轰击加热坩埚结构（2）的坩埚（21）内的膜料，其特征在于，所述电子枪结构（1）包括支座（11）、灯丝（12）、高压头（13）、一体式线圈（14）和磁极（15），所述支座（11）具有一个从上向下的凹陷部（111），灯丝（12）和高压头（13）设置在凹陷部（111）内，高压头（13）设置在灯丝（12）的下方，高压头（13）对灯丝（12）进行高压放电，一体式线圈（14）设置在灯丝（12）的前方，磁极（15）设置在支座（11）的两侧和后方，一体式线圈（14）由一个水平横向设置的X线圈（141）和两个水平纵向设置的Y线圈（142）组成，X线圈（141）设置在前方，两个Y线圈（142）分别与X线圈（141）的两端连接并且位于X线圈（141）的后方，所述一体式线圈（14）和磁极（15）用于使得打入坩埚（21）内的光斑为点形或圆形，所述一体式线圈（14）通电后，在磁极（15）的作用下以磁场环抱的方式使得打入坩埚（21）内的光斑为点形或圆形，通过调整两个Y线圈（142）的电流大小调整光斑的大小，调整在X线圈（141）的左侧的Y线圈（142）的电流增大、并且调整在X线圈（141）的右侧的Y线圈（142）的电流减小，光斑向左移动；同理，调整在X线圈（141）的左侧的Y线圈（142）的电流减小、并且调整在X线圈（141）的右侧的Y线圈（142）的电流增大，光斑向右移动，所述支座（11）的上部向前凸出于支座（11）的中部，支座（11）的上部和中部为梯形，支座（11）的下部为底座，支座（11）下部的尺寸大于支座（11）中部的尺寸，所述凹陷部（111）贯穿支座（11）的上部的中部，并且贯穿支座（11）的中部的前部，高压头（13）的下表面与凹陷部（111）的底面固定，灯丝（12）安装在高压头（13）的上端，灯丝（12）位于支座（11）的上部的凹陷部（111）内。

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