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申请/专利权人：上海陛通半导体能源科技股份有限公司
摘要：本发明提供一种可提高腔体压力控制精度的半导体制造设备，包括工艺腔体、排气管路、真空泵、压力计、压力调节组件及控制器；排气管路的两端分别与工艺腔体及真空泵连通；压力调节组件包括电机、转轴、固定支架、固定环、弹性件、缠绕轮、多个阀门挡板及牵引线，各阀门挡板一端与排气管路内壁依次固定连接，另一端为活动端，当各阀门挡板的活动端依次接触时，构成可封闭排气管路的圆锥形状；转轴一端与电机连接，另一端延伸到排气管路内部，缠绕轮与转轴另一端连接，固定环水平设置于固定支架上，弹性件绕设于固定支架外围，且与固定环相连接，各牵引线一端与阀门挡板的活动端连接，另一端绕设至缠绕轮上。本发明有助于提高设备压力控制精度。
主权项：1.一种可提高腔体压力控制精度的半导体制造设备，其特征在于，包括：工艺腔体、排气管路、真空泵、压力计、压力调节组件及控制器；所述排气管路的两端分别与工艺腔体及真空泵连通，所述压力计用于计量工艺腔体内的压力；所述压力调节组件包括电机、转轴及位于排气管路内的固定支架、固定环、弹性件、缠绕轮、多个阀门挡板及牵引线，各阀门挡板一端与排气管路内壁依次固定连接，另一端为活动端，当各阀门挡板的活动端依次接触时，构成可封闭排气管路的圆锥形状；所述转轴一端与电机连接，另一端延伸到排气管路内部，所述缠绕轮与转轴背离电机的另一端连接，所述固定环水平设置于固定支架上，所述弹性件绕设于固定支架外围，且与固定环相连接，各牵引线一端与阀门挡板的活动端连接，另一端经固定环以及弹性件绕设至缠绕轮上；所述控制器与真空泵、压力计及电机连接，当工艺腔体的实际压力小于工艺压力值时，控制器控制电机旋转，以使转轴带动缠绕轮收缩牵引线，从而使各阀门挡板相互靠近以减小各阀门挡板构成的开口，减小真空泵对工艺腔体的排气能力，直至工艺腔体的实际压力与工艺压力值一致时停止旋转，反之则增大各阀门挡板构成的开口。
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权利要求：
百度查询： 上海陛通半导体能源科技股份有限公司 可提高腔体压力控制精度的半导体制造设备
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