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一种膜层面电阻测量仪 

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申请/专利权人:芜湖长信科技股份有限公司

摘要:本实用新型揭示了一种膜层面电阻测量仪,包括方阻测试仪与探头,所述方阻测试仪的信号输入端通过信号线连接探头的信号输出端,所述探头上设有四根探针,其特征在于:所述探针的呈一字型布置且总宽度为2~10mm,所述探针之间具有间隙。本实用新型将四点探针之间的距离改近,从而可以测量更小的方阻,即小面积镀膜产品电阻均可被测量,并且特殊使用MASK镀膜产品可使用此仪器进行测量。

主权项:1.一种膜层面电阻测量仪,包括方阻测试仪与探头,所述方阻测试仪的信号输入端通过信号线连接探头的信号输出端,所述探头上设有四根探针,其特征在于:所述探针的呈一字型布置且总宽度为2~10mm,所述探针之间具有间隙。

全文数据:

权利要求:

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