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一种新型半导体气体喷淋头 

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申请/专利权人:赛林斯弥(无锡)电子科技有限公司

摘要:本实用新型涉及喷淋头领域,公开了一种新型半导体气体喷淋头,包括喷淋套,喷淋套的顶部连通有三通阀管,三通阀管的左端连通有固定套,固定套的左侧连通有进气管,固定套的顶部固定连接有电机,电机的输出端贯穿至固定套的内部并固定连接有往复螺杆,往复螺杆的表面通过连接杆和连接套活动连接有凹形齿板,固定套内壁的右侧固定连接有过滤套,过滤套的内部设置有齿杆,齿杆的前端和后端均贯穿至过滤套的外侧。本实用新型中,通过过滤套对气体中的杂质进行过滤,再由电机和往复螺杆通过凹形齿板和齿杆带动刷板进行转动,使刷板对过滤套的表面进行刷动清洁,达到方便过滤气体的效果,方便使用者的使用。

主权项:1.一种新型半导体气体喷淋头,包括喷淋套1,其特征在于:所述喷淋套1的顶部连通有三通阀管2,所述三通阀管2的左端连通有固定套3,所述固定套3的左侧连通有进气管4,所述固定套3的顶部固定连接有电机5,所述电机5的输出端贯穿至固定套3的内部并固定连接有往复螺杆6,所述往复螺杆6的表面通过连接杆和连接套活动连接有凹形齿板7,所述固定套3内壁的右侧固定连接有过滤套8,所述过滤套8的内部设置有齿杆9,所述齿杆9的前端和后端均贯穿至过滤套8的外侧,所述凹形齿板7与齿杆9啮合,所述固定套3左侧的底部螺纹连接有密封盘10,所述齿杆9的顶部固定连接有刷板11,所述三通阀管2的右端设置有疏通组件,所述固定套3的顶部设置有防护组件。

全文数据:

权利要求:

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