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申请/专利权人：北京大钲科技有限公司
摘要：本发明公开了一种超高真空阀结构及远端密封方法，超高真空阀结构包括阀体、密封结构和密封控制结构，阀体在远端设有底板，底板上开设通孔；密封结构包括密封块和安装在密封块上的密封O型圈；密封控制结构包括连杆、闩件、封堵控制件和滑动控制件；密封块滑动安装在连杆上，闩件与底板固定连接，连杆一端转动安装在闩件上，连杆另一端与封堵控制件连接。本发明通过滑动控制件驱动密封块沿连杆滑动以在径向靠近或远离通孔；通过封堵控制件控制连杆带动密封块在轴向上靠近或远离通孔，实现通孔的封堵和打开。本发明通过拉索驱动密封结构开关来实现远端控制两个真空腔室之间气体流通和截止，结构简单，操作方便，密封效果好。
主权项：1.一种超高真空阀结构，包括阀体1、密封结构2和密封控制结构，其特征在于，所述阀体1远端设有底板11，底板11上开设有通孔12；所述密封结构2包括密封块21和安装在密封块上的密封O型圈22；所述密封控制结构包括连杆3、闩件4、封堵控制件5和滑动控制件6；其中，所述密封块21滑动安装在连杆3上，闩件4与底板11固定连接，连杆3一端转动安装在闩件4上，连杆3另一端与封堵控制件5连接，封堵控制件5能够控制连杆3带动密封块21相对于闩件4转动以在轴向靠近或远离通孔12；滑动控制件6与密封块21连接且能够控制密封块21沿连杆3滑动以在径向靠近或远离通孔12。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京大钲科技有限公司 一种超高真空阀结构及远端密封方法
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