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申请/专利权人：南通纳科达聚氨酯科技有限公司
摘要：本发明公开了一种附带稳定驱动机构的纳米压印设备，涉及纳米压印技术领域，包括主体、安装板、模板和衬底，所述安装板设置有两个，模板和衬底安装在安装板上相对的一侧表面，两个所述安装板之间通过平行机构和驱动机构进行连接，所述平行机构让模板和衬底始终保持平行状态，所述驱动机构控制模板和衬底之间相互靠近，所述安装板上安装有错位检测机构，所述错位检测机构用于检测模板和衬底在接触之前是否产生错位。本发明通过利用平行四边形原理，使得模板和衬底在压印过程中，始终保持相对平行的状态，同时配合电磁铁产生的磁场，在压印之前，不断调整模板和衬底的相对位置，以保证精确压印。
主权项：1.一种附带稳定驱动机构的纳米压印设备，包括主体（1）、安装板（2）、模板（3）和衬底（4），其特征在于：所述安装板（2）设置有两个，模板（3）和衬底（4）安装在安装板（2）上相对的一侧表面，两个所述安装板（2）之间通过平行机构和驱动机构进行连接，所述平行机构让模板（3）和衬底（4）始终保持平行状态，所述驱动机构控制模板（3）和衬底（4）之间相互靠近；所述安装板（2）上安装有错位检测机构，所述错位检测机构用于检测模板（3）和衬底（4）在接触之前是否产生错位，所述安装板（2）上设置有微调机构，所述微调机构用于调整模板（3）和衬底（4）的相对位置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 南通纳科达聚氨酯科技有限公司 一种附带稳定驱动机构的纳米压印设备
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