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申请/专利权人：开封宸亚新能源有限公司;西尔克斯科技有限公司;开封国投投资有限公司
摘要：本实用新型提供了一种叠片缓存机构，包括：真空腔室；升降装置，设置于真空腔室内，升降装置具有上下布置的多个基片放置位；传送平台，设置于真空腔室内，用以传送基片；第一驱动装置，设置于真空腔室外，第一驱动装置驱动升降装置进行升降，以使各基片放置位均能够与传送平台相对；第二驱动装置，设置于真空腔室外，并驱动传送平台工作。应用本实用新型的技术方案能够有效地解决现有技术中叠片缓存机构不适用于真空环境的问题。
主权项：1.一种叠片缓存机构，其特征在于，包括：真空腔室10；升降装置20，设置于所述真空腔室10内，所述升降装置20具有上下布置的多个基片放置位；传送平台30，设置于所述真空腔室10内，用以传送基片1；第一驱动装置40，设置于所述真空腔室10外，所述第一驱动装置40驱动所述升降装置20进行升降，以使各所述基片放置位均能够与所述传送平台30相对；第二驱动装置50，设置于所述真空腔室10外，并驱动所述传送平台30工作。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 开封宸亚新能源有限公司 西尔克斯科技有限公司 开封国投投资有限公司 叠片缓存机构
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