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基于干涉条纹的柱透镜形貌测量装置及方法 

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申请/专利权人:福州大学

摘要:本发明涉及一种基于干涉条纹的柱透镜形貌测量装置及方法,该装置包括激光光源、5050分光镜、金属反射镜、面阵相机和图像处理系统;所述激光光源用于发射光束,以在相机成像面上产生干涉条纹;所述5050分光镜用于将光束分为一束参考光和一束物光;所述金属反射镜用于反射5050分光镜分出的光束,使光束再次通过5050分光镜从而产生干涉条纹;所述面阵相机的成像面紧贴待测柱透镜的平面,用于接收经过柱透镜的干涉条纹,并将干涉条纹信息传输至图像处理系统中;所述图像处理系统用于处理接收的干涉条纹信息,并计算出待测柱透镜的表面形貌。该装置及方法结构简单,易于实现,测量准确率高,实现成本低。

主权项:1.一种基于干涉条纹的柱透镜形貌测量装置,其特征在于,包括激光光源、5050分光镜、金属反射镜、面阵相机和图像处理系统;所述激光光源用于发射光束,以在相机成像面上产生干涉条纹;所述5050分光镜用于将光束分为两束光,分别射向两面金属反射镜;所述金属反射镜用于反射5050分光镜分出的光束,使光束再次通过5050分光镜从而产生干涉条纹;所述面阵相机的成像面紧贴待测柱透镜的平面,用于接收经过柱透镜的干涉条纹,并将干涉条纹信息传输至图像处理系统中;所述图像处理系统用于处理接收的干涉条纹信息,并计算出待测柱透镜的表面形貌。

全文数据:

权利要求:

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