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申请/专利权人：北京中科信电子装备有限公司
摘要：本发明公开了一种竖直方向束流密度的测量装置和方法，涉及离子注入机，属于半导体制造领域。该装置包括：法拉第杯1，束流挡板3，传动装置10，控制器12。该方法包括：设定测量精度，精度将决定束流挡板每运动多少距离6法拉第杯采集一次值；根据束流挡板底部边缘4的位置值记录法拉第杯的采集值，得到采集值数组；当束流挡板顶部边缘2位置低于法拉第杯缝口底部边缘7时，一次测量结束；将采集值数组元素依次代入说明书中的“束流密度迭代公式”得到束流平均密度数组。
主权项：1.一种用于在离子注入系统中竖直方向束流密度的测量方法，该测量方法包括：通过Wm的值确定束流测量间隔，其中，W表示束流挡板在竖直方向的长度，m为测量精度，且m为正整数；束流挡板从起始点8开始运动，控制器根据挡板下边缘位置等间隔测量束流值，当束流挡板到达结束点7时，处理器14将得到一维的测量值数组，束流挡板下边缘在Y轴的位置构成一维的位置数组，将测量数组依次做迭代算法，得到与位置数组一一对应的束流平均密度数组；其中，迭代算法包括：一维的位置数组记为{S0，S1，S2，S3，......，Sn-2，Sn-1，Sn}；一维的测量数组记为{C0，C1，C2，C3，......，Cn-2，Cn-1，Cn}；待求的束流平均密度数组记为{B0，B1，B2，B3，......，Bn-2，Bn-1，Bn}；束流密度迭代公式为通过将测量数组和平均密度数组相应元素代入上面的迭代公式，得到束流平均密度数组各元素的值，其值与位置数组中的位置一一对应，迭代过程中，当n＜0时，Bn＝0；其中，起始点和结束点包括：当束流挡板底部边缘4位置等于法拉第杯缝口顶部边缘8时；为起始点，当束流挡板顶部边缘2位置低于法拉第杯缝口底部边缘7时，为结束点。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京中科信电子装备有限公司 一种束流竖直方向密度分布的测量装置及方法
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