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申请/专利权人：日本电信电话株式会社

摘要：沿波导16‑19形成半导体马赫‑曾德光学调制器的相位调制电极线24‑27。输出侧引线28至31连接到终端电阻51至54，并且在与波导16至19在电介质层平面内延伸的方向交叉的方向上弯曲。输出侧引线28‑31以对应于期望的阻抗的恒定宽度形成，并且仅在其弯曲部分和其与波导16‑19交叉的部分中比恒定宽度窄。

主权项：1.一种半导体马赫-曾德光学调制器，包括：第一臂波导和第二臂波导，均形成在基板上；第一输入侧引线，形成在所述基板上的电介质层上，并且一端被输入调制信号；第二输入侧引线，形成在所述电介质层上，所述第二输入侧引线与所述第一输入侧引线相邻，并且一端被输入与所述调制信号互补的信号；第一相位调制电极线和第二相位调制电极线，分别沿所述第一臂波导和所述第二臂波导均形成在所述电介质层上，并且所述第一相位调制电极线和所述第二相位调制电极线的一端侧分别连接到所述第一输入侧引线和所述第二输入侧引线的另一端侧；第一输出侧引线和第二输出侧引线，均形成在所述电介质层上，在所述电介质层的平面内在与所述第一臂波导和所述第二臂波导的延伸方向交叉的方向上弯曲，并且所述第一输出侧引线和所述第二输出侧引线的一端侧分别连接到所述第一相位调制电极线和所述第二相位调制电极线的另一端侧；第一电极和第二电极，被配置为将通过所述第一相位调制电极线和所述第二相位调制电极线传播的所述调制信号分别施加到所述第一臂波导和所述第二臂波导；第一接地线，沿所述调制信号的传播方向形成在所述电介质层上，并且位于所述第一输入侧引线、所述第一相位调制电极线和所述第一输出侧引线的外侧；第二接地线，沿所述调制信号的传播方向形成在所述电介质层上，并且位于所述第二输入侧引线、所述第二相位调制电极线和所述第二输出侧引线的外侧；以及终端电阻，连接到所述第一输出侧引线和所述第二输出侧引线的另一端侧，其中，所述第一输出侧引线和所述第二输出侧引线中的每条输出侧引线以与期望的阻抗相对应的预定宽度形成，并且不仅在弯曲部分中还在所述第一输出侧引线和所述第二输出侧引线中的每条输出侧引线跨越所述第一臂波导和所述第二臂波导的部分中具有比所述预定宽度窄的宽度，所述第一输出侧引线与所述第二输出侧引线之间的距离小于所述第一相位调制电极线与所述第二相位调制电极线之间的距离，以及接地线与所述第一输出侧引线和所述第二输出侧引线之间的距离仅在所述第一输出侧引线和所述第二输出侧引线的弯曲部分和所述第一输出侧引线和所述第二输出侧引线跨越所述第一臂波导和所述第二臂波导的部分中变短，同时保持所述预定宽度。

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权利要求：

百度查询： 日本电信电话株式会社 半导体马赫-曾德光学调制器和IQ调制器