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申请/专利权人：广东凯迪微智能装备有限公司
摘要：本实用新型涉及晶圆顶起机构领域的用于晶圆干燥装置的晶圆顶起机构，包括花篮、支撑架和设置于支撑架上的花篮定位组件及顶刀组件，左右侧面定位块和前后侧面定位块均设有向内倾斜的导向倾斜面，顶刀组件由四块竖立设置的顶板构成，顶板的顶部设有与定位槽的数量和位置均相对应且用于支撑晶圆底部的V形顶刀。花篮下降过程中四组V形顶刀将支撑在晶圆的底部，使晶圆保持竖直状态，晶圆的底部将脱离定位槽的底部，且晶圆的背面紧靠定位槽的一端内壁，晶圆的背面仅有小部分接触定位槽的一端内壁，符合对晶圆水印的标准要求，确保晶圆的底部和正面均与花篮分离，可有效解决晶圆正面和底部均与花篮因存在接触点而导致接触点产生水印的技术问题。
主权项：1.用于晶圆干燥装置的晶圆顶起机构，包括花篮、支撑架和设置于支撑架上的花篮定位组件及顶刀组件，花篮的前后两内壁设有若干用于纵向放置晶圆的定位槽，其特征在于：所述花篮定位组件共设有两组，分别为左右侧面定位块和前后侧面定位块，左右侧面定位块和前后侧面定位块均设有向内倾斜的导向倾斜面，左右侧面定位块和前后侧面定位块围绕形成定位区域，当花篮由上往下放置于定位区域时，左右侧面定位块贴紧花篮的左右侧面，前后侧面定位块贴紧花篮的前后侧面，顶刀组件位于定位区域内，顶刀组件由四块竖立设置的顶板构成，四块顶板相互平行设置，顶板的顶部设有与定位槽的数量和位置均相对应且用于支撑晶圆底部的V形顶刀，当花篮放置于定位区域时，V形顶刀将同时顶起晶圆，使晶圆的底部脱离定位槽的底部，且晶圆的背面紧靠定位槽的一端内壁。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 广东凯迪微智能装备有限公司 用于晶圆干燥装置的晶圆顶起机构
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