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申请/专利权人：志圣科技(广州)有限公司
摘要：本发明公开了一种多层晶圆翘曲整平装置，包括固定架和升降架，固定架和升降架之间连接有升降机构；固定架上连接有至少两个压平下板；所述升降架上连接有至少两个压平上板；压平上板和压平下板沿竖直方向交替布置，相邻的位于上方的压平上板和位于下方的压平下板之间构成用于存放晶圆的空间；位于下层的压平上板上设有多个能穿过上层的压平下板并将上层的晶圆顶起的顶升针。本发明提供的多层晶圆翘曲整平装置，能一次烘烤压平多片晶圆，生产效率高。
主权项：1.一种多层晶圆翘曲整平装置，其特征在于，包括固定架和升降架，固定架和升降架之间连接有升降机构2；固定架上连接有至少两个压平下板5；所述升降架上连接有至少两个压平上板6；压平上板6和压平下板5沿竖直方向交替布置，相邻的位于上方的压平上板6和位于下方的压平下板5之间构成用于存放晶圆4的空间；位于下层的压平上板6上设有多个能穿过上层的压平下板5并将上层的晶圆4顶起的顶升针62。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 志圣科技(广州)有限公司 一种多层晶圆翘曲整平装置
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