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申请/专利权人：广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院
摘要：本发明涉及化学机械平坦化处理的技术领域，公开了一种氯醋树脂改性聚氨酯复合抛光垫，按重量份数由以下组分制备而成：色浆1000～2000份、非离子表面活性剂15～45份、阴离子表面活性剂15～45份、稀释溶剂500～1000份、背胶300～330份、氯醋树脂改性聚氨酯湿法树脂3000～4000份、浸渍层170～200份。该氯醋树脂改性聚氨酯复合抛光垫，采用氯醋树脂改性聚氨酯为湿法树脂，其主链为硬软段相间的聚氨酯结构，侧链为氯乙烯‑乙酸乙烯酯‑乙烯醇共聚的氯醋树脂结构。氯醋树脂改性聚氨酯湿法树脂的链段结构更加多元化，可以有效提升数均分子量的上限，大幅提升其耐磨性和力学性能，制备得到的抛光垫具有耐磨性好、孔隙率高、去除率高和寿命长的特点。本发明还公开了该氯醋树脂改性聚氨酯复合抛光垫的制备方法。
主权项：1.一种氯醋树脂改性聚氨酯复合抛光垫，其特征在于，按重量份数由以下组分制备而成：色浆1000～2000份、非离子表面活性剂15～45份、阴离子表面活性剂15～45份、稀释溶剂500～1000份、背胶300～330份、氯醋树脂改性聚氨酯湿法树脂3000～4000份、浸渍层170～200份。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院 一种氯醋树脂改性聚氨酯复合抛光垫及其制备方法
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