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申请/专利权人：信越化学工业株式会社
摘要：本发明为感光性树脂组合物、感光性干膜和图案形成方法。将包含A含硅亚苯基和聚醚结构的聚合物和B光致产酸剂的感光性树脂组合物涂布至基底上以形成具有改进的对基底的粘合性、图案形成能力、耐开裂性和作为保护膜的可靠性的感光性树脂涂层。
主权项：1.感光性树脂组合物，其包含A包含具有下式1至4的重复单元的含硅亚苯基和聚醚结构的聚合物，和B光致产酸剂， 其中，X1为具有下式X1的二价基团，X2为具有下式X2的二价基团，X3为具有下式X3的二价基团，X4为具有下式X4的二价基团，以及p、q、r和s为在以下范围内的数：0.1≤p1、0≤q1、0≤r1、0≤s1、0q+r+s1和p+q+r+s＝1， 其中，R1和R2各自独立地为氢或C1-C8一价烃基，R3和R4各自独立地为氢或甲基，a1和a2各自独立地为1至6的整数，和n为0至100的整数， 其中，Y1为单键、亚甲基、丙烷-2,2-二基、1,1,1,3,3,3-六氟丙烷-2,2-二基或芴-9,9-二基，R11和R12各自独立地为氢或甲基，R13和R14各自独立地为C1-C4烷基或烷氧基，b1和b2各自独立地为0至7的整数，以及c1和c2各自独立地为0至2的整数， 其中，Y2为单键、亚甲基、丙烷-2,2-二基、1,1,1,3,3,3-六氟丙烷-2,2-二基或芴-9,9-二基，R21和R22各自独立地为氢或甲基，R23和R24各自独立地为C1-C4烷基或烷氧基，d1和d2各自独立地为0至7的整数，以及e1和e2各自独立地为0至2的整数， 其中，R31和R32各自独立地为氢或甲基，以及f1和f2各自独立地为0至7的整数。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 信越化学工业株式会社 感光性树脂组合物、感光性干膜和图案形成方法
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