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具有可超音速转动的无桨叶气体撞击表面的非密封式真空泵 

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申请/专利权人:赵建中

摘要:一种真空泵,通常包含被不透气的隔板隔开的低压部分和高压部分。气体分子经由隔板上的开孔离开低压部分并被动地撞击到高压部分内的无特征的可转动表面上。驱动器以撞击气体分子的最可能速度的数倍以上的超音速范围内的切线速度来转动可转动表面。这些撞击气体分子从可转动表面的周边向外射出,产生实质净向外的气体流,并降低低压部分内的压力。真空泵可在没有使用密封件来防止气体分子回漏至低压部分以及没有使用桨叶或叶片来主动地冲击这些气体分子的情况下,有效地将低压部分内的压力降低至目标最小压力。

主权项:1.一种真空泵,包括:壳体,其中,所述壳体具有内部空间,并且其中,所述内部空间包括低压部分和高压部分;隔板,其将所述低压部分与所述高压部分分隔开,其中,所述隔板具有暴露于所述低压部分的第一表面和暴露于所述高压部分的第二表面,并且其中,所述隔板是实质不透气的且不动的;气体流路,其供气体穿过所述隔板而从所述低压部分流至所述高压部分,其中,没有密封件来防止所述气体从所述高压部分通过所述气体流路回漏至所述低压部分;可转动表面,其位于所述高压部分中,其中,所述可转动表面包括第一表面,所述第一表面基本上是平坦的并且与所述隔板相邻,其中,所述第一面适于被经由所述气体流路进入所述高压部分的所述气体的分子撞击;及驱动器,其耦合至所述可转动表面,其中,所述驱动器是可操作的,用以在所述低压部分中从初始压力到目标最小压力的压力范围内,通过使所述可转动表面的至少一部分具有在撞击到所述可转动表面上的所述气体的分子的最可能速度的约1至6倍的范围内的切线速度,来转动所述可转动表面,以在从所述高压部分回漏至所述低压部分的所述气体的分子限制所述低压部分内的压力进一步下降之前,将所述低压部分内的压力从所述初始压力降低到所述目标最小压力。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 赵建中 具有可超音速转动的无桨叶气体撞击表面的非密封式真空泵

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