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申请/专利权人:唯导(上海)科技有限公司
摘要:本发明提供一种单光子雪崩二极管像素结构及其制备方法,所述结构包括:多个SPAD单元,相邻所述SPAD单元之间通过DTI结构隔离;设置在每一所述SPAD单元之上的频谱滤波器结构,所述频谱滤波器结构自下而上依次包括:设置于所述SPAD单元顶表面的顶抗反射层、第一多晶硅层、第一氧化层,多晶硅结构层,第二氧化层和第二多晶硅层;所述多晶硅结构层中间隔设置有多个多晶硅纳米柱。通过多晶硅和二氧化硅的夹层微腔中间设置多晶硅的纳米柱,使得SPAD像素本身具有光谱过滤能力,消除后期封装环节的成本,增加稳定性。
主权项:1.一种单光子雪崩二极管像素结构,其特征在于,所述结构包括:多个SPAD单元,相邻所述SPAD单元之间通过DTI结构隔离;设置在每一所述SPAD单元之上的频谱滤波器结构,所述频谱滤波器结构自下而上依次包括:设置于所述SPAD单元顶表面的顶抗反射层、第一多晶硅层、第一氧化层,多晶硅结构层,第二氧化层和第二多晶硅层;所述多晶硅结构层中间隔设置有多个多晶硅纳米柱。
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