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角度敏感量子点短波红外光电探测器 

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申请/专利权人:深圳技术大学

摘要:本实用新型提供了一种角度敏感量子点短波红外光电探测器,短波红外光电探测器包括电极层、量子点层和衬底层,所述光栅结构层具有连续亚波长周期,所述光栅结构层按照亚波长周期排列的单元组成,该单元包括等距的低折射率衬底单元和高折射率填充单元;光栅结构的光栅周期p为500~2000nm,深度d为400~600nm,填充因子ff为0.5~0.9;光栅结构层被配置为针对特定斜入射角、特定偏振方向、特定波长获得最大吸收效率,特定斜入射角度包括20°~65°中的至少一种,特定偏振方向包括TE偏振方向、TM偏振方向中的至少一种,特定波长包括1000nm~2000nm中的至少一种;本实用新型实现对特定角度斜入射情况下特定偏振方向SWIR波段特定波长光的高效率吸收。

主权项:1.一种角度敏感量子点短波红外光电探测器,用于特定斜入射角度、特定偏振方向、特定波长获得最大光吸收效率,其特征在于,包括依次连接的电极层、量子点层、光栅结构层和衬底层,所述光栅结构层具有连续亚波长周期,所述光栅结构层按照亚波长周期排列的单元组成,该单元包括等距的低折射率衬底单元和高折射率填充单元;每个亚波长周期中,光栅周期p为500~2000nm,深度d为400~600nm,填充因子ff为0.5~0.9;所述特定斜入射角度包括20°~65°中的至少一种,所述特定偏振方向包括TE偏振方向、TM偏振方向中的至少一种,所述特定波长包括1000nm~2000nm中的至少一种。

全文数据:

权利要求:

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