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申请/专利权人：江苏科沛达半导体科技有限公司
摘要：本发明公开了一种用于锗料坩埚的清洗机，涉及锗料坩埚清洗技术领域，其技术要点：包括手动操作区与自动操作区，手动操作区沿着锗料坩埚移动方向依次包括第一酸洗槽、第二酸洗槽以及QDR槽，自动操作区沿着锗料坩埚移动方向依次包括第一超声波漂洗槽、第二超声波漂洗槽、第三超声波漂洗槽、慢拉提升槽以及晾干槽，手动操作区与自动操作区之间设置有取料槽，自动操作区一侧沿着锗料坩埚设置有搬运机构，搬运机构的活动部设置有用于取放锗料坩埚的机械手；本发明提高了清洗锗料坩埚的效率，解决了人工清洗锗料坩埚效率较低的技术问题。
主权项：1.一种用于锗料坩埚的清洗机，其特征在于：包括手动操作区与自动操作区，所述手动操作区沿着锗料坩埚移动方向依次包括第一酸洗槽101、第二酸洗槽102以及QDR槽103，所述自动操作区沿着锗料坩埚移动方向依次包括第一超声波漂洗槽201、第二超声波漂洗槽202、第三超声波漂洗槽203、慢拉提升槽204以及晾干槽205，所述手动操作区与自动操作区之间设置有取料槽3，所述自动操作区一侧沿着锗料坩埚设置有搬运机构，所述搬运机构的活动部设置有用于取放锗料坩埚的机械手9；在所述手动操作区进行人工酸洗后，将锗料坩埚放置在取料槽3内，之后，所述机械手9抓取锗料坩埚，在搬运机构的配合下，带动锗料坩埚通过自动操作区，直至将锗料坩埚放置在晾干槽205上；所述第一酸洗槽101与第二酸洗槽102内均填充有HF与HCL溶液，用于对锗料坩埚进行酸洗；所述QDR槽103用于喷淋冲洗锗料坩埚表面残留的酸液；所述取料槽3用于盛放喷淋冲洗后的锗料坩埚；所述第一超声波漂洗槽201、第二超声波漂洗槽202以及第三超声波漂洗槽203内填充有漂洗液，用于超声波漂洗锗料坩埚；所述慢拉提升槽204内也填充有漂洗液，用于慢拉清洗锗料坩埚；所述晾干槽205用于晾干慢拉清洗后的锗料坩埚。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏科沛达半导体科技有限公司 一种用于锗料坩埚的清洗机
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