龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：辽宁工业大学;中国电子科技集团公司第五十四研究所;北京邮电大学
摘要：本发明公开了一种太赫兹波段的基于MEMS开关的超表面反射单元，属于射频前端器件技术领域。其由微带天线单元，复合梁MEMS开关，直流偏置线，金属短截线，圆形通孔，金属电极，氮化硅绝缘层，硅基衬底和背附金属地组成。复合梁MEMS开关由二氧化硅材料固支梁和吸附在其下方的金属梁组成而成。通过在直流端口输入不同直流电压来控制开关的断开与导通状态；利用MEMS开关控制电流路径的智能超表面调制天线具有隔离度高、插入损耗低和功耗低的特征。该天线可以实现在一定带宽范围内295‑305GHZ具有180°发射相位差，且MEMS开关工作在300GHZ以下，均可以保证在断开状态隔离度高于15dB；导通状态下插入损耗低于1dB。微带天线单元和开关结构简单、制造方便，可以通过硅基工艺进行制造。
主权项：1.一种太赫兹波段的基于MEMS开关的超表面反射单元，包括微带天线单元1、复合梁MEMS开关9、石英玻璃衬底17和背附金属地18；其特征在于，微带天线单元1和复合梁MEMS开关9均设于石英玻璃衬底的上表面；背附金属地18位于石英玻璃衬底的下表面；所述微带天线单元的矩形贴片和尾部圆形通孔4通过金属短截线19连接，金属短截线上设有作为断路的缺口；所述复合梁MEMS开关9的导通结构12位于缺口的正上方；石英玻璃衬底上贯穿的设有4个金属通孔，四个金属通孔直线阵列且均位于复合梁MEMS开关9的下方；两端的金属通孔为一组，分别与复合梁MEMS开关9的对应桥墩连接；中间的两金属通孔为另一组，分别与对应的金属电极连接；两组金属通孔的其中一组与背负金属地无接触，并通过直流偏置线与驱动电压端口连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 辽宁工业大学 中国电子科技集团公司第五十四研究所 北京邮电大学 一种太赫兹波段的基于MEMS开关的超表面反射单元
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号