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申请/专利权人：同济大学
摘要：本发明公开了一种基于超表面的MEMs光学相控阵，属于光学相控阵技术领域。其装置包括若干MEMs横向位移器和若干超表面光栅，每个MEMs横向位移器与每个超表面光栅由下到上集成连接组成一个移相器单元，每个移相器单元均位于控制电路上，若干个移相器单元组成相控阵。本发明提供的一种基于超表面的MEMs光学相控阵，其中超表面光栅器具有高衍射效率和高激光损伤阈值以及MEMs横向位移器具有微秒级的响应速度。与现有MEMs相控阵技术相比，本发明提出的基于超表面的MEMs光学相控阵具有更高的光学效率、更强的激光负载和更快的扫描速度，在满足光束扫描系统小型化和轻量化的同时具备更优的性能，在导弹制导、测绘、无人驾驶等领域有着重要的作用。
主权项：1.一种基于超表面的MEMs光学相控阵，其特征在于：其装置包括若干MEMs横向位移器和若干超表面光栅，每个所述MEMs横向位移器与每个所述超表面光栅由下到上集成连接组成一个移相器单元，每个所述移相器单元均位于控制电路上，若干个移相器单元组成相控阵。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 同济大学 一种基于超表面的MEMs光学相控阵
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