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申请/专利权人：河北美泰电子科技有限公司
摘要：本实用新型提供了一种基于MEMS的折叠硅腔波导环行器，包括载体、第一硅板、第二硅板以及永磁体。第一硅板上设有第一金属层、铁氧体及第一通孔，第一金属层、第一通孔及载体围合形成第一腔体以用于传输波导；第二硅板与第一硅板相连，且位于第一硅板的上方，第二硅板上设有第二金属层及第二通孔，第二金属层、第二通孔及第一金属层围合形成第二腔体以用于传输波导；永磁体用于对铁氧体施加磁场。本实用新型提供的基于MEMS的折叠硅腔波导环行器，旨在能够解决现有技术中使用的波导环行器体积较大的问题。通过使用第一金属层和第二金属层双层介质金属层，可以使波导环形器的体积缩小，使结构更加紧凑，实现微波器件的小型化。
主权项：1.基于MEMS的折叠硅腔波导环行器，其特征在于，包括：载体；第一硅板，设置在所述载体上，所述第一硅板上设置有第一金属层、铁氧体及第一通孔，所述第一金属层、所述第一通孔及所述载体围合形成第一腔体以用于传输波导；第二硅板，与所述第一硅板相连，且位于所述第一硅板的上方，所述第二硅板上设有第二金属层及第二通孔，所述第二金属层、所述第二通孔及所述第一金属层围合形成第二腔体以用于传输波导；永磁体，位于所述第二硅板上，用于对所述铁氧体施加磁场。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 河北美泰电子科技有限公司 基于MEMS的折叠硅腔波导环行器
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