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一种去除颗粒多晶硅表面硅粉的系统及方法 

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申请/专利权人:陕西悦兴亿达新能源有限公司

摘要:本发明适用于去除颗粒多晶硅表面硅粉技术领域,提供了一种去除颗粒多晶硅表面硅粉的系统及方法,所述系统包括滚动组件、湿度控制组件和集尘组件;所述湿度组件包括吹扫气源、湿度制造装置和湿度监测仪,所述集尘组件包括鼓风机、旋风分离器和过滤器组件;所述过滤器组件包括第一过滤器和HEPA过滤器;所述吹扫气源、湿度制造装置、翻滚装置、湿度监测仪、鼓风机、第一过滤器和HEPA过滤器依次通过管路相互连接。本发明通过滚动装置以及内部结构在转动的条件下,使得颗粒多晶硅表面的粉尘能够有效去除;另外,增加了湿度控制系统,使得整个回路中的湿度可以自动控制在稳定的范围内,确保了良好的除尘效果。

主权项:1.一种去除颗粒多晶硅表面硅粉的系统,其特征在于,所述系统包括滚动组件、湿度控制组件和集尘组件9;所述湿度组件包括吹扫气源0、湿度制造装置1和湿度监测仪3,所述集尘组件9包括鼓风机4、旋风分离器和过滤器组件;所述过滤器组件包括第一过滤器5和HEPA过滤器6;所述吹扫气源0、湿度制造装置1、翻滚装置2、湿度监测仪3、鼓风机4、第一过滤器5和HEPA过滤器6依次通过管路相互连接,所述HEPA过滤器6通过管路与湿度制造装置1相连接。

全文数据:

权利要求:

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