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申请/专利权人：东海县太阳光新能源有限公司
摘要：本发明公开了一种坩埚装料防护装置，涉及半导体制造技术领域，包括坩埚本体，所述坩埚本体外环面开设有环形槽，所述坩埚本体顶部设置有伸缩机构。本发明中，连接杆一端与溢流管一连接，连接杆通过销轴二与辅助杆连接，辅助杆通过销轴一与皮带轮一连接，利用皮带轮一的转动可驱动连接杆升降，进而调节溢流管一的使用高度，在溢流管一升降时，伸缩杆和支撑杆可分别为溢流管一和连接杆的升降进行导向，经过调节后，可使溢流管一上的导流孔和溢流管二上的导流管对齐，利用导流管和导向件一可对硅液的流动进行导向，使硅液在导向件一内收集，减少飞溅，从而加速硅液的排出，减少溢流对坩埚本体的损伤。
主权项：1.一种坩埚装料防护装置，包括坩埚本体4，所述坩埚本体4外环面开设有环形槽41，其特征在于：所述坩埚本体4顶部设置有伸缩机构2，所述伸缩机构2顶部安装有导向组件1，所述导向组件1包括溢流管一11、伸缩杆13和溢流管二15，所述溢流管一11一侧开设有导流孔111，所述溢流管一11外环面固定连接有连接件16，所述连接件16底部与伸缩杆13的顶端固定连接，所述溢流管一11与溢流管二15之间滑动连接，所述溢流管二15外环面固定连通有导流管151，所述溢流管二15外环面固定连接有导向件一14；所述溢流管一11两侧均设置有连接机构，所述连接机构包括连接杆12、皮带轮一3和辅助杆31，所述连接杆12一端与溢流管一11外环面固定连接，所述连接杆12底部贯穿插设有销轴二36，所述连接杆12通过销轴二36与辅助杆31铰接，所述辅助杆31内部贯穿插设有销轴一32，所述销轴一32一端与皮带轮一3一侧固定连接，所述皮带轮一3内部贯穿插设有插接杆34，所述插接杆34一端固定连接有齿轮33，所述齿轮33一侧固定连接有延伸轴37，所述延伸轴37一端与坩埚本体4转动连接，所述齿轮33顶部啮合有齿环7，所述齿环7与坩埚本体4之间转动连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东海县太阳光新能源有限公司 一种坩埚装料防护装置
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