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一种抛光垫砂光机 

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申请/专利权人:上海芯谦集成电路有限公司

摘要:本发明涉及一种抛光垫砂光机,包括操作台、转盘和砂光组件;转盘用于放置抛光垫,转盘与操作台转动连接,且绕其中心轴线转动,转盘上设有多个真空孔,真空孔与真空泵连通,用于真空吸附抛光垫;砂光组件设置在操作台上,且与转盘相对设置,用于与抛光垫抵接。本发明采用转盘放置抛光垫,通过转盘转动带动抛光垫与砂光组件发生相对运动,实现了打磨抛光垫的目的,同时转盘上还设置了真空孔,采用真空吸附的方式将抛光垫固定在转盘上,避免了传统砂光机中抛光垫与砂光组件的相对移动方式而导致的抛光垫褶皱,有效提高了抛光垫加工质量和成品率,因此也不需要对抛光垫进行反复进料出料,降低了劳动强度,有助于改善加工效率。

主权项:1.一种抛光垫砂光机,其特征在于,包括:操作台10;转盘20,所述转盘20用于放置抛光垫30,所述转盘20与所述操作台10转动连接,且绕其中心轴线转动,所述转盘20上设有多个真空孔21,所述真空孔21与真空泵50连通,用于真空吸附所述抛光垫30;砂光组件40,所述砂光组件40设置在操作台10上,且与所述转盘20相对设置,用于与所述抛光垫30抵接。

全文数据:

权利要求:

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