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申请/专利权人：深圳仕上电子科技股份有限公司
摘要：本发明属于半导体加工技术领域，尤其为一种半导体加工部件电弧溶射专用保护治具，包括底座，所述底座的表面安装有工作台，所述工作台的表面设置有若干均匀分布的夹持位，所述夹持位用于夹持半导体加工件；所述底座的两侧固定有立板，所述底座和所述立板的外部罩设有屏蔽罩，所述屏蔽罩与所述底座滑动连接本发明为电弧溶射提供稳定的作业环境，避免在溶射过程中受到外界因素的影响产生溶射质量问题，且半导体溶射件与夹具的连接处不会因电弧溶射溢出的材料导致粘接，避免了在保护冶具上取出半导体溶射件时造成表面损坏；本发明的工作台表面粘有耐热胶贴，易于清除表面粘附的电弧溶射涂层，清洁维护简单方便。
主权项：1.一种半导体加工部件电弧溶射专用保护治具，其特征在于：包括底座（1），所述底座（1）的表面安装有工作台（2），所述工作台（2）的表面设置有若干均匀分布的夹持位（21），所述夹持位（21）用于夹持半导体加工件；所述夹持位（21）为内凹结构，所述夹持位（21）的内部开设有安装孔（22），所述安装孔（22）为等距分布的多组孔位，每组孔位包括多个沿截面的周向方向排列开设的孔；所述底座（1）的两侧固定有立板（3），所述底座（1）和所述立板（3）的外部罩设有屏蔽罩（4），所述屏蔽罩（4）与所述底座（1）滑动连接，所述屏蔽罩（4）的内壁与所述立板（3）的外侧壁相贴合，所述屏蔽罩（4）的顶部中心处开设有窗口，电弧电弧溶射喷枪从该窗口穿过至所述屏蔽罩（4）内，所述立板（3）的一侧安装有进气管（5），所述进气管（5）贯穿所述立板（3）并延伸至所述屏蔽罩（4）内，所述立板（3）与所述进气管（5）对立的一侧安装有排气管（7），所述排气管（7）和尾气处理装置相连接，所述屏蔽罩（4）的内部顶侧开设有对称设置的两个安装槽（41），每个所述安装槽（41）中均安装有监控模块（10），所述底座（1）的一侧安装有用于驱动屏蔽罩（4）的驱动机构（8）。
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权利要求：
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