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申请/专利权人：上海大学

摘要：本发明涉及氢气传感器技术领域，具体地说是一种非晶贵金属RuOxZnOMEMS氢气传感器的制备方法，首先合成非晶贵金属RuOx，通过自组装复合到了ZnO纳米片上，调控RuOx的量合成含有不同分数非晶贵金属RuOx气敏材料，将材料和乙醇在玛瑙研钵中混合糊状并涂在Pt电极上，干燥后得到电阻型传感器MEMS传感器，将传感器放置在带有加热电极和测试电极的底座上，加热电压为1.5V，持续24小时，本发明同现有技术相比，使用RuOx自组装对ZnO表面进行改性，用少量RuOx改性ZnO后，传感器对氢气显示出很高的响应值以及超低的检测限低至1ppm，制造新型高效气体传感器方面具有广阔的应用前景。

主权项：1.一种非晶贵金属RuOx复合ZnO的MEMS氢气传感器的制备方法，其特征在于包括有以下步骤：S1：将制备好的复合气敏材料和乙醇在玛瑙研钵中混合，研磨成糊状；S2：将所述糊状物涂在Pt叉指电极上，在室温下自然干燥后得到电阻型传感器MEMS传感器；S3：将所述电阻型传感器MEMS传感器放置在带有加热电极和测试电极的底座上，随后将传感器的加热电压设置为1.5V，持续24小时；所述复合气敏材料的制备方法包括以下步骤：S10：在电磁搅拌下，将250mg～300mgRuCl3•xH2O水合物溶解在5毫升去离子水中，然后加入4～5gLiOH•H2O后形成溶液；S20：将所述溶液在搅拌下加热至85～90℃以蒸发水，并将蒸发后所得固体产物在静态空气中在350～410℃下煅烧2小时；S30：所述固体产物用去离子水和乙醇彻底洗涤并在60℃下干燥过夜后获得催化剂并标记为RuOx；S40：将8～15mmolZnCH3COO2•2H2O、5～12mmol六甲基四胺HMT和5mmol十二烷基硫酸钠SDS溶解在20ml蒸馏水中，剧烈搅拌30分钟后，将溶液转移到50mL高压釜中，并在160～200℃下保持9～12小时；S50：所述高压釜冷却至室温后，将白色沉淀物离心，用乙醇和蒸馏水洗涤数次，60℃干燥过夜；S60：将所述沉淀物在空气气氛中以2℃min的加热速率在500℃下煅烧2小时，得到ZnO纳米片；S70：将所述S30获得的0.5～2mg的RuOx分散到20mL乙醇中并与所述100mg的ZnO混合后形成混合物；S80：将所述混合物用超声波处理1小时，然后在60～80℃下干燥8小时，最终得到RuOx修饰的ZnO。

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百度查询： 上海大学 一种非晶贵金属RuO_x/ZnO MEMS氢气传感器的制备方法