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申请/专利权人：安徽工业大学
摘要：本实用新型公开了一种四氯化硅与氨气的气相反应装置，包括气相反应箱、与气相反应箱连通的气相反应管和封闭在气相反应管端部的反应管接头，反应管接头上连接有氮气输入管、四氯化硅输入管和氨气输入管，反应管内设置有与氮气输入管、四氯化硅输入管和氨气输入管连通的混合反应区，气相反应箱内设置有与混合反应区连通的气固分离区，气相反应箱顶部设置有尾气收集管，尾气收集管和气固分离区之间设置有过滤网；本实用新型通过将四氯化硅、氨气和氮气分别通过输入管输入混合反应区，利用高温氮气控制四氯化硅和氨气反应进程，同时挥发反应后副产物氯化铵经过过滤装置收集氮化硅，节约氮化硅制备成本，避免了由于制冷而产生的成本过高问题。
主权项：1.一种四氯化硅与氨气的气相反应装置，其特征在于：包括气相反应箱、与气相反应箱连通的气相反应管和封闭在气相反应管端部的反应管接头，所述反应管接头上连接有氮气输入管、四氯化硅输入管和氨气输入管，所述反应管内设置有与氮气输入管、四氯化硅输入管和氨气输入管连通的混合反应区，所述气相反应箱内设置有与混合反应区连通的气固分离区，所述气相反应箱顶部设置有尾气收集管，所述尾气收集管和气固分离区之间设置有过滤网。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 安徽工业大学 一种四氯化硅与氨气的气相反应装置
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