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申请/专利权人:浙江创芯集成电路有限公司
摘要:本说明书实施例提供一种位姿检测设备、位姿调节系统及光刻机,其中,所述位姿检测设备用于检测光罩和承载设备间的相对位姿,包括:标准件,用于模拟光罩;多个数据采集传感器,不同数据采集传感器设置于所述标准件的不同设定位置,所述设定位置为所述标准件与所述承载设备的接触位置;所述数据采集传感器用于在所设置的设定位置被接触时,输出感应信。采用上述技术方案,能够获取光罩和承载设备间的倾斜状况。
主权项:1.一种位姿检测设备,其特征在于,用于检测光罩和承载设备间的相对位姿,所述位姿检测设备包括:标准件,用于模拟光罩;多个数据采集传感器,不同数据采集传感器设置于所述标准件的不同设定位置,所述设定位置为所述标准件与所述承载设备的接触位置;所述数据采集传感器用于在所设置的设定位置被接触时,输出感应信号。
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百度查询: 浙江创芯集成电路有限公司 位姿检测设备、位姿调节系统及光刻机
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