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申请/专利权人：华为技术有限公司
摘要：本申请实施例提供一种MEMS微镜系统、激光雷达系统及车辆，涉及激光雷达技术领域，能够提高MEMS微镜系统的抗冲击能力。该MEMS微镜系统中活动部分包括可动结构、反射结构和加强结构；固定部分包括至少两个固定结构，每个固定结构包括第一固定层和第二固定层；第一固定层位于第二固定层上方，且第一固定层比第二固定层薄；支撑部分包括第一悬臂梁和第二悬臂梁；第一悬臂梁和第二悬臂梁的一端与加强结构相连，另一端与第二固定结构相连。第一悬臂梁和第二悬臂梁的整体厚度大于或等于第二固定层，且大于可动结构的整体厚度。每个悬臂梁的两端不与活动部分直接相连，而是分别与较厚的加强结构和第二固定层相连，因此有更强的抗应力悬臂梁和边界稳定性。
主权项：1.一种MEMS微镜系统，其特征在于，所述MEMS微镜系统包括：驱动部分、活动部分、固定部分和支撑部分；所述活动部分由可动结构、反射结构和加强结构进一步组成；所述驱动部分用于驱动所述可动结构相对于所述固定结构发生平动或转动；所述固定部分由至少两个固定结构组成，每个所述固定结构包括第一固定层和第二固定层；所述第一固定层位于第二固定层上方，且第一固定层的整体厚度小于第二固定层的整体厚度；所述支撑部分至少由第一悬臂梁和第二悬臂梁组成；所述第一悬臂梁和第二悬臂梁的一端与所述加强结构直接相连，另一端与所述第二固定层直接或间接相连；其中，所述第一悬臂梁和第二悬臂梁的整体厚度大于或等于所述第一固定层，且大于所述可动结构的整体厚度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 华为技术有限公司 一种MEMS微镜系统、激光雷达系统及车辆
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