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申请/专利权人：英飞凌科技股份有限公司
摘要：本公开涉及在磁阻感测元件中诱发机械应力以使参考层系统的磁化轴在优选的方向上对齐来改进传感器性能。磁阻传感器包括感测元件和应力诱发层。感测元件具有层堆叠体，层堆叠体包括：参考层，该参考层具有与磁化轴对齐的固定参考磁化；磁性自由层，该磁性自由层具有磁性自由磁化，其中磁性自由磁化在存在外部磁场的情况下是可变化的；以及非磁性层，该非磁性层被布置在参考层和磁性自由层之间。应力诱发层耦合到层堆叠体并且被配置为向层堆叠体施加力以沿着机械应力轴在层堆叠体中诱发机械应力，使得磁化轴与所述机械应力轴平行对齐或与机械应力轴垂直对齐。
主权项：1.一种磁阻传感器，包括：感测元件，具有层堆叠体，所述层堆叠体包括：参考层，具有与磁化轴对齐的固定参考磁化；磁性自由层，具有磁性自由磁化，其中所述磁性自由磁化在存在外部磁场的情况下是可变化的；以及非磁性层，被布置在所述参考层和所述磁性自由层之间；以及应力诱发层，耦合到所述层堆叠体，其中所述应力诱发层被配置为：向所述层堆叠体施加力以沿着机械应力轴在所述层堆叠体中诱发机械应力，使得所述磁化轴与所述机械应力轴平行对齐或与所述机械应力轴垂直对齐。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 英飞凌科技股份有限公司 在磁阻感测元件中诱发机械应力以使参考层系统的磁化轴在优选的方向上对齐来改进传感器性能
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